电子半导体行业废气治理
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电子信息产业是研制和生产各种电子元器件、仪器、仪表和设备的工业,是军民结合型工业,由电子元器件、电子仪器仪表、广播电视设备、通信导航设备、雷达设备、电子计算机和其他电子专用设备等的生产行业组成。
自从人类进入信息时代以来,电子信息产业在人类社会发展中所扮演的角色越来越重要,引领着人类社会的加速变革与进步。与此同时,电子信息产业造成的污染也越来越严重,亟需治理。




电子信息产业中的芯片或线路板生产过程中往往涉及到清洗、均胶、刻蚀、显影等工序,因此无法避免使用绝缘材料、溶剂、清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等。这些物质中含有的有机溶剂经挥发排放,成为有机废气,其主要污染物为苯、甲苯、二甲苯丁酮、乙酸乙酯等。这些有机废气对人体的危害极为严重,必须经过处理后才能排放到大气中。




鉴于电子行业中的主要污染物为有机废气,故在治污选择上应采用蓄热式催化氧化(RCO)设备。
厦门爱迪特环保蓄热式催化氧化设备拥有设计独特的先进高效的热交换系统和配套的催化净化体,其中发生的反应是典型的气—固相反应,是活性氧参与的深度氧化反应。在催化氧化过程中,一方面催化体表面的吸附作用使反应物分子富集于催化体表面,另一方面催化体降低活化能的作用加快了氧化反应的进行,提高了氧化反应的效率。与热力燃烧不同,RCO系统利用热能和催化体,将废气转化为二氧化碳(CO2)和水(H2O),属无焰燃烧,同时能回收废气分解时所释出的热量,当处理入口的废气温度超过300℃时还会自动关闭助热器,以节约能源。一般来说,燃料使用量可降低50%~95%,可达到节能增效,降耗减排的良好效果。